基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法，在动画显示部上，放映表示维护方法的动画。作业人员通过观看在操作面板动画显示部上显示的动画，能够掌握维护方法。由此，按照在动画显示部上显示的动画，在短时间内且正确地实施维护。

主权项

1.一种基板处理装置，对基板实施规定的处理，其特征在于，包括：存储装置，其存储表示上述基板处理装置的维护方法的动画信息；显示装置，其将上述存储装置中所存储的上述动画信息作为动画而进行显示。