预热装置

摘要

本实用新型是提供一种应用于化学机械研磨装置之中的预热装置。化学机械研磨装置是至少包含转盘和研磨垫，而转盘的上表面紧密地结合此研磨垫。本实用新型所揭露的预热装置至少包含一摩擦元件，此摩擦元件是借着悬吊元件而置于该研磨垫的上方。当摩擦元件与研磨垫摩擦生热时，使得研磨垫的表面温度到达一预定温度。

主权项

1、一种预热装置，是应用于一化学机械研磨装置之中，对一研磨垫进行预热程序，其特征在于：所述装置至少包含：一驱动元件；一悬吊元件，该悬吊元件的第一端连接该驱动元件；以及一摩擦锭摩擦元件，该摩擦锭摩擦元件悬挂于该悬吊元件的第二端并能与该研磨垫表面接触；其中，该驱动元件来回转动以带驱动该悬吊元件而使該摩擦锭该摩擦元件摩擦扫过转动中的该研磨垫表面而使得该研磨垫表面温度到达一预定温度。