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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR ASHING OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
KR20050090162(A)
申请公布日期
2005.09.13
申请号
KR20040015400
申请日期
2004.03.08
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KIM, HEE SAM
分类号
H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
主权项
地址
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