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发明名称 Apparatus for supplying a source gas
摘要
申请公布号 KR100513488(B1) 申请公布日期 2005.09.08
申请号 KR20030014270 申请日期 2003.03.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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