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发明名称 Lift-off Verfahren für selbstausrichtende Dünnschichttransistoren
摘要
申请公布号 DE69433948(T2) 申请公布日期 2005.09.08
申请号 DE1994633948T 申请日期 1994.08.30
申请人 GENERAL ELECTRIC CO., SCHENECTADY 发明人 KWASNICK, ROBERT FORREST;POSSIN, GEORGE EDWARD
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/027 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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