| 发明名称 |
Verfahren und Herstellung einer dünnen Schicht |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69825928(T2) |
申请公布日期 |
2005.09.08 |
| 申请号 |
DE19986025928T |
申请日期 |
1998.03.24 |
| 申请人 |
CANON K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
IWANE, MASAAKI;YONEHARA, TAKAO |
| 分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/762;H01L27/12;H01L31/042 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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