| 发明名称 |
Elektronenstrahlprüfvorrichtung und Verfahren zum Überprüfen von Durchgangsöffnungen unter Verwendung von geclusterten Nanoröhren-Arrays |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102005000644(A1) |
申请公布日期 |
2005.09.08 |
| 申请号 |
DE200510000644 |
申请日期 |
2005.01.03 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD |
发明人 |
YOON YOUNG-JEE;JUN CHUNG-SAM;CHON SANG-MUN |
| 分类号 |
G01R31/302;G01R31/307;H01J1/304;H01J3/02;H01J37/065;H01J37/073;H01L21/66;H01L21/768;(IPC1-7):H01J37/256;G01R31/265;G01R31/305 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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