Manufacturing method for semiconductor device having capacitor,申请号EP19970106056-传众专利搜索

发明名称	Manufacturing method for semiconductor device having capacitor
摘要
申请公布号	EP0789395(B1)	申请公布日期	2005.09.07
申请号	EP19970106056	申请日期	1993.06.14
申请人	MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.	发明人	FIJII, EIJI;SHIMADA, YASUHIRO;UEMOTO, YASUHIRO;HAYASHI, SHINITIROU;NASU, TOORU;ARITA, KOICHI;INOUE, ATSUO;MATSUDA, AKIHIRO;KIBE, MASAKI;OOTSUKI, TATSUO
分类号	H01L21/02;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/06;H01L27/115;H01L29/92;(IPC1-7):H01L21/824;C23C16/50;H01J37/32	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
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