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发明名称 IPA VAPOR DRYER AND METHOD OF DRYING WAFER
摘要
申请公布号 KR20050088537(A) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 KR20040013901 申请日期 2004.03.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JUNG, JAE HYUNG;KIM, TAE RYONG;YUN, MIN SANG;JUNG, HEE CHAN;KIM, YONG CHUL;YOU, DONG JUN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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