主权项 |
1.一种全息凸面光栅光刻光路设计方法,其特征在于,它包括下列步骤:1)建立一种同心三反射镜光学系统的“无”像差环视场光刻光路,它由激光器(9)、分光器(10)、反光镜(11、12)、物镜(13、14)、空间滤波器(15、16)、凹面镜(18)组成,凸面光栅基片(17)置于同心三反射镜光学系统凸面镜的位置上,激光器(9)发出的激光束经分光器(10)分束为两束光,分别由两块反光镜(11、12)反射出两束互相平行的光束,再分别射入两物镜(13、14),聚焦在空间滤波器(15、16)上,进入由凹面镜(18)和凸面光栅(17)组成的同心三反射镜系统,两空间滤波器(15、16)在同心三反射镜系统“无”像差环(19)视场上,两光束经凹面镜(18)反射到凸面光栅基片(17)上进行干涉;根据需光刻的凸面光栅基片(17)的参数:凸面光栅基片的球面半径r和凸面光栅基片的平面直径d,使得两相干光束能充满凸面光栅基片,采用作图法,确定大凹面镜(18)的球面半径R和平面直径D;先画出凸面光栅位置,取一环半径h,利用公式<math> <mrow> <mi>h</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mi>R</mi> <msqrt> <msup> <mrow> <mn>4</mn> <mi>r</mi> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <mo>-</mo> <msup> <mi>R</mi> <mn>2</mn> </msup> </msqrt> </mrow> <mrow> <mn>2</mn> <mi>r</mi> </mrow> </mfrac> </mrow> </math> 算出凹球面半径R,与凸面光栅球面同心画出凹球面,以最大孔径角μmax为18度,画出边缘光线,经凹面镜反射到凸面光栅上,是否充满球面半径r和平面直径d的凸面光栅,若不能充满,则增大环半径h,再重复以上步骤,直至充满,若充满,则由该光线量出平面直径D,与算出的凹球面半径R确定了大凹面镜结构;2)调整光路,使凹面反射镜(18)与凸面光栅基片(17)同心;3)由第2步确定的凹面反射镜(18)凹面半径R、凸面光栅基片(17)球面半径r,根据公式:<math> <mrow> <mi>h</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mi>R</mi> <msqrt> <msup> <mrow> <mn>4</mn> <mi>r</mi> </mrow> <mn>2</mn> </msup> <mo>-</mo> <msup> <mi>R</mi> <mn>2</mn> </msup> </msqrt> </mrow> <mrow> <mn>2</mn> <mi>r</mi> </mrow> </mfrac> </mrow> </math> 算出“无”像差环视场半径h;4)将上述光路中两空间滤波器(15、16)放在由凹面反射镜(18)、凸面光栅基片(17)组成的同心三反射镜系统“无”像差环视场上,并且是在环直径的两端上;5)调整光路使经两反射镜(11、12)的两相干光束互相平行,且与同心三反射镜的光轴平行,同时在同一个平面内,离光轴的距离均等于环半径h;6)两相干光束经各自的物镜(14、13)和空间滤波器(15、16)射入同心三反射镜系统,其孔径角为0~18度。 |