用于抗反射涂层的组合物及形成图形的方法

摘要

在化学增强光致抗蚀剂膜上施覆抗反射涂层组合物，形成了抗反射涂层膜，该组合物包含碱溶性含氟聚合物、酸、胺和适于溶解这些组分的溶剂，pH为7或更小。所形成的抗反射涂层膜可以用于防止在光致抗蚀剂膜内的多次反射，提高了曝光后显影液显影时的光致抗蚀剂膜的厚度减少量，并形成了具有矩形横截面图形且无T顶或圆顶的图形。

主权项

1.一种抗反射涂层组合物，pH为7或更小，包含含氟聚合物、酸、胺和适于溶解这些组分的含水溶剂。