制备碳纳米管薄膜的等离子体增强光热化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种制备碳纳米管、碳纳米线、纳米纤维薄膜的等离子体增强光热化学气相沉积设备，包括真空室内的红外加热器、石英窗、射频等离子体平板电极、匀气腔、导流罩、样品台、磁耦合转轴、保护气入口等。将等离子体CVD的真空室和光热CVD的真空室合为一室。等离子体工艺和光热CVD工艺可单独进行或同时进行；用射频电源和平板电极产生等离子体，完成催化剂的活化功能，红外加热器加热，完成碳纳米管的生长，两种工艺结合在一起；红外加热器位于真空室中样品台上方，加热器和样品台之间有石英窗隔离，样品台的转动由磁耦合传动实现。其结构简单，工作可靠，可低温大面积均匀制备碳纳米管或碳纤维，可用于碳纳米管平板显示器的商业化生产。

主权项

1.一种制备碳纳米管薄膜的等离子体增强光热化学气相沉积设备，其特征在于，该设备包括：一混气箱【20】，混气箱【20】的入口并联有5路质量流量计【19】，每个质量流量计【19】两端各连接一个电磁阀【18】，电磁阀【18】和质量流量计【19】通过管路与混气箱【20】相连；一光热化学气相沉积真空室【23】，光热化学气相沉积真空室【23】上分别连接有电离规【21】、电阻规【22】、充气阀【24】和通过电磁阀连通的保护气体加热器【26】；一分子泵【30】，分子泵【30】通过分子泵闸板阀【27】与光热化学气相沉积真空室【23】连通，分子泵【30】还通过电磁阀与第一机械泵【29】连接；光热化学气相沉积真空室【23】通过角阀【25】分别连接薄膜规【31】和通过电磁阀连通的第二机械泵【32】；混气箱【20】的气体一路通过电磁阀与角阀【25】连通光热化学气相沉积真空室【23】；另一路经过气路截止阀【28】与光热化学气相沉积真空室【23】连通。