发明名称 METHOD FOR FORMING ISOLATION LAYER IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100511923(B1) 申请公布日期 2005.09.05
申请号 KR20030091423 申请日期 2003.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址
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