发明名称 FABRICATION MEHTOD FOR REDUCED-DIMENSION INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 KR100511765(B1) 申请公布日期 2005.09.05
申请号 KR19997006907 申请日期 1999.07.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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