| 主权项 |
1.一种奈米级五轴共平面微动平台,系利用挠性体所架构而成,能达到五自由度的运动,其包括有:一基座;一覆设在该基座上方的平台;一与该平台连接的连接座;多数个设在基座上的致动器;多数个轴向可挠之第一挠性体,每一该第一挠性体之第一端连接一致动器,且每一该第一挠性体之第二端连接在该连接座;及多数个具有可挠性且能垂直转换该致动器致动力方向之第二挠性体,该第二挠性体具有输入端及与该输入端垂直的输出端。2.如申请专利范围第1项所述之奈米级五轴共平面微动平台,其中,该基座上设有两个相对且位在X轴上的致动器及两个相对且位在Y轴上的致动器,每一该致动器一端连接一轴向可挠之第一挠性体的第一端,该等第一挠性体的第二端均连接在该连接座,另设有四个分布在基座四个角落的致动器,每一该致动器连接一第二挠性体的输入端,并于该基座上覆设平台,该平台中央与该基座连接,并由每一第二挠性的输出端支撑。3.依申请专利范围第1项所述之奈米级五轴共平面微动 平台,其中,该第二挠性体呈圆弧环状,其位于水平线上的两端为输入端,而位于垂直线上的两端则为输出端,其一输入端与一致动器连接,另一输入端则抵接在基座上的凸柱,而一输出端抵接在基座上,另一输出端支撑平台。4.依申请专利范围第1项所述之奈米级五轴共平面微动平台,其中,该等致动器以同一平面方式布列在该基座上,使该等致动器的推力呈共平面状态。5.依申请专利范围第1项所述之奈米级五轴共平面微动平台,其中,该等致动器包含有压电晶体、调整柱以及支撑柱。6.依申请专利范围第1项所述之奈米级五轴共平面微动平台,其中,该平台具有一与连接座相卡合之接合部。7.依申请专利范围第1项所述之奈米级五轴共平面微动平台,其中,于连接座设有一可感测该连接座移动量与旋转量之感测系统,该感测系统包括有:一定位座;一设在该定位座上可感测该连接座X轴方向移动量之感测器;一设在该定位座上可感测该连接座Y轴方向移动量之感测器;一设在该定位座上可感测该连接座Z轴方向转动量之感测器;及一组设在该定位座上可感测该连接座x轴方向转动量之感测器;一组设在该定位座上可感测该连接座y轴方向转动量之感测器;其中,透过该等感测器讯号的回授可知平台各轴的运动量或干涉量。8.依申请专利范围第1项所述之奈米级五轴共平面微动平台,其中,该定位座系包含有上支撑面、侧支撑面以及下支撑面,而各该等支撑面用以将该等感测器固定其上。图式简单说明:第一图:系本发明之外观示意图第二图:系本发明之基本结构示意图第三图:系本发明之断面组合示意图第四图:系本发明第一挠性体之外观示意图第五图:系本发明第二挠性体之外观示意图第六图:系本发明之基本结构分解示意图第七图:系本发明连接座之组合示意图第八图:系本发明连接座另一角度之组合示意图 |
