用于提供物件之精确移动的机械人导引总成

摘要

本发明为一种用于提供一物件之精确移动，特别用于提供碟状构件例如晶圆之精确移动之机器人导引总成，包含机器人装置，其包括至少一机器手臂具有一自由端以及一固定端系附着于该机器人装置，其中该机器人系适合于至少一移动平面移动该手臂之自由端，因此该导引装置适合用于提供至少于该平面精确导引该手臂之自由端。