用于制造平板显示器的设备

摘要

一种平板显示器(FPD)制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。

主权项

1.一种平板显示器制造设备的可分离真空室，包括：一顶板，其形成所述室的顶部；一底板，其面对顶板并形成所述室的底部；一外围壁板，其在上端和下端处分别耦合于顶板和底板以限定一封闭空间，该外围壁板在其连接到底板的端部处具有延伸部分，该延伸部分在所述室内部沿所述室的外围方向延伸以在底板上形成一台阶；一覆盖组件，其设置在底板上以在所述室内部沿所述室的外围方向延伸而使覆盖组件覆盖外围壁板的延伸部分；以及一密封组件，其插入在延伸部分和覆盖组件之间以及底板和覆盖组件之间而将所述封闭空间与所述室的外部相屏蔽。