发明名称 PROBE STATION WITH LOW INDUCTANCE PATH
摘要
申请公布号 EP1567871(A2) 申请公布日期 2005.08.31
申请号 EP20030777879 申请日期 2003.10.24
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 DUNKLEE, JOHN;COWAN, CLARENCE, E.
分类号 G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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