压力式流量控制装置

摘要

一种压力式流量控制装置，包括节流孔；设置于节流孔上游侧的控制阀；设置于控制阀与节流孔之间的压力检测器；根据压力检测器的检测压力P₁以Q＝KP₁(其中K为常数)计算流体的流量Q并以流量指令信号Qs与上述计算出的流量信号Q二者之差作为控制信号Qy向上述控制阀的驱动部输出的控制装置。在将下游侧压力P₂与节流孔的上游侧压力P₁之比保持在被控制流体的临界压比以下的状态下，通过上述控制阀的开闭来调整节流孔上游侧的压力P₁，对节流孔下游侧的流体流量Q进行控制的压力式流量控制装置，是以直接接触型金属隔膜阀作为上述节流孔，以阀座与膜片之间的环形间隙作为可变式的节流孔，并且可通过节流孔驱动装置调整上述间隙的大小。

主权项

1.一种压力式流量控制装置，包括：节流孔；设于节流孔上游侧的控制阀；设置于控制阀与节流孔之间的压力检测器；以及根据压力检测器的检测压力P1以Qc＝KP1，其中K为常数，计算流体的流量，同时以流量指令信号Qs与上述计算出的流量信号Qc二者之差作为控制信号Qy向上述控制阀的驱动部输出的控制装置；在将节流孔的下游侧压力P2与上游侧压力P1之比P2/P1保持在控制流体的临界压比以下的状态下，通过上述控制阀的开闭来调整节流孔上游侧的压力P1并对节流孔下游侧的流量Q进行控制；其特征在于，上述节流孔为直接接触型金属隔膜阀，以其阀座与膜片之间的环形间隙作为可变式的节流孔。