接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器

摘要

一种接触式MEMS开关寿命测试的方法和仪器。该方法利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极，在该开关有开关动作时，计数器计数连续方波脉冲信号的脉冲个数，直至该开关疲劳失效，无开关动作时，计数器停止计数，显示器显示的数字就是该被测开关的寿命指标。该仪器由方波发生器(10)、脉冲幅度转换器(20)、测试架(30)、开关动作监视器(40)、二输入端与门(50)、七位十进计数器及显示器(60)、指示器(70)和电源(80)组成，有线路抗干扰性能好，结构简单，元器件通用，测试效率高，每测试一个开关，时间仅为2～3min等优点。本发明特别适于用来测试接触式MEMS开关的寿命。

主权项

1.一种接触式MEMS开关寿命测试的方法，其特征在于，利用连续方波脉冲信号驱动被测接触式MEMS开关的上、下电极，在该开关正常，即第一、二接触点间有开关动作时，计数器计数连续方波脉冲信号的脉冲个数，直至该开关疲劳失效，即第一、二接触点间无开关动作时，计数器停止计数，显示器显示的数字就是该被测开关的寿命指标。