光学式测定装置及光学式测定方法

摘要

一种光学式测定装置及光学式测定方法，能高精度地进行对电极的周期配列图形的测定。当向测定对象的玻璃基板照射通过了聚光镜(114)的聚焦光时，发生由电极(31)的配列图形产生的衍射光，在基板的表面(3a)和背面(3b)上进行反射。在该表面反射光和背面反射光在接近于聚光状态的状态下射入的位置上配置一维CCD(122)。在一维CCD(122)上，各反射光分离后入射，同时m次的背面反射光射入到m次的表面反射光的入射位置与(m+1)次的表面反射光的入射位置之间。从由该一维CCD(122)得到的受光量数据中仅提取表面反射光的强度，基于其分布状态，测定电极(31)的配列图形。

主权项

1.一种光学式测定装置，将在具有透光性的基板上以周期性配列的结构物作为测定对象，执行使用了衍射光的测定处理，该衍射光是向上述基板表面的所配列的多个周期性的结构物照射光时产生的，其特征在于，具有：投光部，其将包括沿着上述结构物的配列方向的方向和向着上述基板的表面照射的光的光轴的方向的面的截面中聚焦的光，相对于上述基板的表面，以上述截面成为入射面的方式通过倾斜入射而进行照射；受光部，其包括有摄像元件，所述摄像元件具有所配列的多个受光用象素，该配列的方向是由沿着上述结构物的配列方向的方向和通过上述基板的表面正反射后的光的光轴的方向确定的面内所包含的方向，在上述摄像元件上，确定上述投光部相对于上述基板的距离和照射光的照射角度、包含有上述摄像元件的受光部相对于上述基板的距离和角度，使得背面反射光的m次的衍射光入射到由上述照射光产生的表面反射光的m次的衍射光与(m+1)次的衍射光入射的位置之间，其中m是任意的整数，在上述基板上反射的衍射光中，将远离投光部的一侧设为正。