| 发明名称 |
SILICON-CONTAINING POLYMER, NEGATIVE TYPE RESIST COMPOSITION COMPRISING THE SAME, AND PATTERNING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050082425(A) |
申请公布日期 |
2005.08.23 |
| 申请号 |
KR20050055105 |
申请日期 |
2005.06.24 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
CHOI, SANG JUN |
| 分类号 |
G03F7/039;G03F7/075;(IPC1-7):G03F7/075 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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