| 主权项 |
1.一种奈米光碟片,其系利用一原子束定位平台与一原子束系统制作而成,其特征在于:该原子束系统发射出波长范围介于0.1nm到500nm间之原子束,并于一基板之表面上形成一极小之聚焦点,俾能于该基板之中心圆孔至资料区间开始刻划资料。2.如申请专利范围第1项所述之奈米光碟片,其中该原子束定位平台包含一定位移动平台与一碟片旋转主轴,该碟片旋转主轴具有一夹具夹待该基板之中心圆孔以固定该基板,该碟片旋转主轴固定于该定位移动平台之上,其利用该定位移动平台作左右位移,并利用该碟片旋转主轴作转动旋转。3.如申请专利范围第2项所述之奈米光碟片,其中该定位移动平台系包含一高刚性平台、一超精密线性滑轨与一光纤雷射。4.如申请专利范围第2项所述之奈米光碟片,其中该碟片旋转主轴系包含一空气轴承与一内藏式马达。5.如申请专利范围第2项所述之奈米光碟片,其中该夹具系与接地线连接。6.如申请专利范围第1项所述之奈米光碟片,其中该基板具有之光碟纪录点轨距、点宽在0.1nm~500nm,刻板密度为0.1nm~500nm,线宽在0.1 nm~500nm之间。7.如申请专利范围第1项所述之奈米光碟片,其中该原子束系统包含一真空腔、一真空帮浦、一真空阀与一真空计。图式简单说明:第1图,系本创作基板之外观示意图。第2图,系本创作基板之另一外观示意图。 |
