发明名称 找出影像特征之系统以及方法
摘要 提供一种用于找出影像资料中特征的系统。该系统包括第一分系统。第一分系统比较第一部分的资料(它可以是特征之使用者选择的第一部分像素资料)与第一测试影像资料(它可以经由扫描装置的影像资料选择,装置例如是切割自矽晶圆的晶模)。系统也包括第二分系统,它连接到第一分系统,诸如经由处理器的资料记忆体位置。如果第一分系统找到第一部分资料与第一测试影像资料间匹配,第二分系统比较第二部分资料与第二测试影像资料。第二测试影像资料是根据第一测试影像资料选择,诸如使用第一部分资料与第二部分资料之像素间已知的座标关系。
申请公布号 TWI238522 申请公布日期 2005.08.21
申请号 TW090109190 申请日期 2001.04.17
申请人 半导体科技设备股份有限公司 发明人 克莱德.杰斯特;约翰.梭尼尔
分类号 H01L27/108;G06F13/00 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种用以找出影像资料中之特征的系统,包括: 第一分系统,用以比较第一部分的资料与第一测试 影像资料; 第二分系统,与第一分系统耦合,在第一分系统匹 配过第一部分的资料与第一测试影像资料之后,第 二分系统用以比较第二部分的资料与第二测试影 像资料;以及 其中的第二测试影像资料是根据与第一测试影像 资料之空间关系而选择。 2.如申请专利范围第1项的系统,进一步包括影像建 立系统,与第一分系统及第二分系统耦合,影像建 立系统接收使用者输入的资料,并反应使用者输入 的资料产生第一部分的资料及第二部分的资料。 3.如申请专利范围第1项的系统,进一步包括比较器 系统,与第一分系统及第二分系统耦合,比较器系 统比较第一部分的资料与第一测试影像资料,以及 第二部分的资料与第二测试影像资料。 4.如申请专利范围第1项的系统,其中,第一分系统 进一步包括 第一部分资料的系统,接收第一部分资料的复数个 像素;以及 第一测试影像系统,接收第一测试影像资料的复数 个像素。 5.如申请专利范围第3项的系统,其中,第二分系统 进一步包括 第二部分资料的系统,接收第二部分资料的复数个 像素;以及 第二测试影像系统,接收第二测试资料的复数个像 素。 6.如申请专利范围第1项的系统,进一步包括控制器 ,与第一分系统及第二分系统耦合,控制器接收来 自第一分系统与第二分系统的比较器资料,并根据 比较器资料产生影像选择资料。 7.如申请专利范围第6项的系统,其中的控制器进一 步包括一边界系统,接收比较器的资料并根据边界 资料产生边界资料。 8.如申请专利范围第6项的系统,其中的控制器进一 步包括一扫描系统,接收来自第一分系统的第一比 较器资料,并根据第一比较器资料产生测试影像增 量资料。 9.如申请专利范围第6项的系统,其中的控制器进一 步包括一影像前进系统,接收比较器资料,并根据 比较器资料产生的资料致使获取新物件的测试影 像资料。 10.一种找出影像资料中特征的方法,包括: 比较第一部分的影像与第一测试影像,以产生第一 比较资料;以及 根据第一比较资料以及空间关系以识别特征的位 置。 11.如申请专利范围第10项的方法,其中比较第一部 分影像与第一测试影像以产生第一比较资料进一 步包括: 接收第一部分的影像资料; 接收第一测试影像资料; 比较第一部分的影像资料与第一测试影像资料;以 及 产生第一比较资料,它指示第一部分的影像资料与 第一测试影像资料间相似的程度。 12.如申请专利范围第11项的方法,进一步包括: 接收第二部分的影像资料; 接收第二测试影像资料; 比较第二部分的影像资料与第二测试影像资料;以 及 产生第二比较资料,它指示第二部分的影像资料与 第二测试影像资料间相似的程度。 13.如申请专利范围第10项的方法,其中,根据第一比 较资料识别特征之位置进一步包括产生边界资料 。 14.如申请专利范围第10项的方法,进一步包括根据 第一比较资料及第二比较资料继续物件影像资料 的扫描。 15.如申请专利范围第10项的方法,进一步包括根据 影像扫描资料扫描新的物件影像资料。 16.如申请专利范围第13项的方法,其中产生边界资 料进一步包括根据使用者选择的边界资料与所建 立之影像中第一部分影像间预先决定的关系,应用 使用者从一建立之影像中选择的边界资料施加到 特征。 17.一种找出影像资料中特征的方法,包括: 选择特征的第一部分; 选择特征的第二部分; 比较影像资料之连续的第一测试影像与第一部分, 直到找出匹配的第一测试影像; 根据匹配的第一测试影像以及空间关系以选择第 二测试影像;以及 比较第二测试影像与第二部分。 18.如申请专利范围第17项的方法,进一步包括如果 第二测试影像与第二部分匹配,确认特征的存在。 19.如申请专利范围第17项的方法,进一步包括如果 第二测试影像与第二部分匹配,产生边界资料。 20.如申请专利范围第17项的方法,其中,比较影像资 料之连续的第一测试影像与第一部分直到找出匹 配的第一测试影像,包括: 从影像资料的像素组中选择第一测试影像; 比较第一测试影像与第一部分以产生比较资料; 如果比较资料在预先决定的资料范围内,选择第一 测试影像做为匹配的测试影像;以及 如果比较资料在预先决定的资料范围之外,从增量 的影像资料像素组中选择第一测试影像。 21.如申请专利范围第17项的方法,其中,根据匹配的 第一测试影像选择第二测试影像包括: 决定特征之第一部分与特征之第二部分间的座标 关系;以及 根据匹配之第一测试影像的座标资料以及座标关 系选择第二测试影像。 22.如申请专利范围第20项的方法,比较第一测试影 像与第一部分以产生比较资料包括对于第一测试 影像与第一部分以及无原始特性下而执行正常化 灰阶相关分析。 图式简单说明: 图1是按照本发明之例示性实施例用以分析影像资 料的系统; 图2是按照本发明之例示性实施例用以分析测试影 像资料的系统; 图3是按照本发明之例示性实施例用以测试影像资 料之方法的流程图; 图4是按照本发明之例示性实施例用以旋转特征扫 描之方法的流程图; 图5的图显示按照本发明例示性实施例之特征的例 示性选择器影像与确认影像;以及 图6是按照本发明之例示性实施例之控制影像资料 分析系统的系统。
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