机加工设备和方法

摘要

一机加工主轴包括一内轴(110a)和一外轴(110b)，内轴被设置成装有用于机加工一工件的一第一刀具(5a)，外轴被设置成装有用于机加工该工件的一第二刀具(5b)，其中一根轴安装在另一根之内，两轴围绕一公共轴线转动和相互轴向相对运动。由空气轴承支承该轴。该主轴尤其适合于将硅晶片切割成许多长方形芯片。

主权项

1.一机加工主轴，它包括被设置成用于装载机加工一工件的一第一刀具的一内轴和被设置成用于装载机加工该工件的一第二刀具的一外轴，这两根轴被安装得围绕一公用轴线旋转和可彼此相对轴向移动，以及，该机加工主轴还包括其中轴颈支承这两根轴的一主体，内轴被安装在外轴内，主体内的一空气轴承装置轴颈支承外轴，以及，该空气轴承被设置成允许在内和外轴之间相对轴向运动。