真空泵

摘要

本发明涉及旋转式真空泵中的兼具保持真空排气室的高温和冷却轴承部这两个功能的绝热结构，特别是提供一种对排出半导体处理的反应性气体的真空泵、在将排气室保持成高温时能防止轴承或轴密封垫变成高温而破坏的结构。其具有真空排气室，并具有将处理气体导入到该真空排气室内的导入机构、将上述处理气体排出到上述真空排气室外的排气机构和将上述真空排气室与外部隔离的机壳，叶轮通过轴承能自由旋转地固定在该机壳内的真空泵中，在上述真空排气室和上述轴承之间设有绝热机构。而且在上述机壳上装入热传导率比上述机壳的材料还高的金属而作为热传导机构。

主权项

1.旋转式真空泵，其具有真空排气室，并具有将处理气体导入到该真空排气室内的导入机构、将上述处理气体排出到上述真空排气室外的排气机构和将上述真空排气室与外部隔离的机壳，叶轮通过轴承能自由旋转地固定在该机壳内，其特征在于，在上述真空排气室和上述轴承之间设置着绝热机构。