气体处理装置及散热方法

摘要

一种喷气头(40)，系将喷气底座(41)、气体扩散板(42)、喷气板(43)重叠而构成，并经由被形成在气体扩散板(42)两面的第1气体扩散部(42a)、第2气体扩散部(42b)、以及被形成在喷气板(43)并且连通至第1气体扩散空间(42c)之第1气体吐出口(43a)、连通至第2气体扩散空间(42d)之第2气体吐出口(43b)，将原料气体和氧化剂气体供给至载置台(5)上的晶圆W处之形态的喷气头(40)，在第1气体扩散部(42a)内，设置密接在喷气底座(41)的底面之复数的传热柱(42e)，而在其间的部分，则成为第1气体扩散空间(42c)，藉由此传热柱(42e)将载置台5所承受的辐射热，往喷气头(40)的厚度方向传达。