发明名称 紫外线照射装置
摘要 本发明在谋求紫外线照射装置小型化,且可个别地设定以数个头部照射之紫外线之条件,以提高使用便利性。本发明之紫外线照射装置系照射使紫外线硬化型树脂硬化用之紫外线,且具备:数个头部120,其系具备作为紫外线源而可照射紫外线之一个以上之半导体元件;控制器部110,其系具备:设定部140,其系用于对各个头部120个别地设定紫外线照射条件;及电源部112,其系供给驱动电流至半导体元件;及电缆部130,其系具备电性连接头部120与控制器部110用之电讯号线。
申请公布号 TW200527161 申请公布日期 2005.08.16
申请号 TW093140130 申请日期 2004.12.22
申请人 其恩斯股份有限公司 发明人 铃木秀行
分类号 G03F7/20;H01J65/04 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本