石英晶圆切割机之带锯顶掣结构

摘要

本创作系一种石英晶圆切割机之带锯顶掣结构，该切割机系由一机台、至少一致动元件及一带锯所构成，该机台具有一工作区间，且该工作区间之一面系具有一平台；该致动元件系设置于机台内；该带锯具有一平面部及一锯齿部，该带锯系设置于机台内且与致动元件连接，并由工作区间穿过于平台上；并于该机台内且邻近于工作区间二端之位置处系分别设置至少一顶掣元件，而该顶掣元件之周缘系与带锯之平面部呈点状接触。藉此，可使该带锯于切割时具有稳定、平整、偏摆小及不易扭曲之功效，而达到增加切割速度及延长带锯之寿命。

主权项

1.一种石英晶圆切割机之带锯顶掣结构,该切割机包括有:一机台,该机台具有一工作区间,且该工作区间之一面系具有一平台;至少一致动元件,系设置于机台内;一带锯,具有一平面部及一锯齿部,该带锯系设置于机台内且与致动元件连接,并由工作区间穿过于平台上;其特征在于:该机台内且邻近于工作区间二端之位置处系分别设置至少一顶掣元件,而该顶掣元件之周缘系与带锯之平面部呈点状接触。2.依申请专利范围第1项所述之石英晶圆切割机之带锯顶掣结构,其中,该顶掣元件系为培林。3.依申请专利范围第1项所述之石英晶圆切割机之带锯顶掣结构,其中,该顶掣元件系于机台内且邻近工作区间二端位置处分别设置二个为最佳。4.依申请专利范围第1项所述之石英晶圆切割机之带锯顶掣结构,其中,该顶掣元件系配合有固定杆,藉以固设于机台内之预定位置处。图式简单说明:第一图,系本创作之立体外观示意图。第二图,系本创作第一图之A-A剖面示意图。第三图,系本创作第一图之B-B剖面示意图。第四图,系本创作之切割状态剖面示意图。第五图,系习用之状态剖面示意图。