发明名称 |
双层透明导电薄膜及其制备方法和电致发光器件 |
摘要 |
本发明提出一种双层透明导电薄膜及其制备方法和电致发光器件,所述双层透明导电薄膜由高导电薄膜和沉积在所述高导电薄膜上的低功函薄膜组成;其中,所述高导电薄膜的化学通式为Zn<sub>1-x</sub>Al<sub>x</sub>O,x的取值范围为0.005~0.15;所述低功函薄膜的化学通式为MeO,Me为Ca、Sr或Ba。本发明的双层透明导电薄膜通过在所述高导电薄膜上沉积所述低功函薄膜而形成双层的薄膜结构,既能保持良好的导电性能,又使功函数得到显著的提高。使用所述双层透明导电薄膜作为电致发光器件的阴极,可使其发光效率得到明显的提高。 |
申请公布号 |
CN104674172A |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
申请号 |
CN201310633525.4 |
申请日期 |
2013.11.29 |
申请人 |
海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
发明人 |
周明杰;陈吉星;王平;黄辉 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;B32B9/00(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市隆天联鼎知识产权代理有限公司 44232 |
代理人 |
刘抗美;刘耿 |
主权项 |
一种双层透明导电薄膜,其特征在于,所述双层透明导电薄膜由高导电薄膜和沉积在所述高导电薄膜上的低功函薄膜组成;其中:所述高导电薄膜的化学通式为Zn<sub>1‑x</sub>Al<sub>x</sub>O,x的取值范围为0.005~0.15;所述低功函薄膜的化学通式为MeO,Me为Ca、Sr或Ba。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层 |