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发明名称 RUCKGEWINNUNG VON SILICIUMCARBIDSUBSTRATEN MIT NUTZBARER OBERFLÄCHE
摘要
申请公布号 DE69830788(D1) 申请公布日期 2005.08.11
申请号 DE1998630788 申请日期 1998.04.07
申请人 CREE, INC. 发明人 NEGLEY, H.
分类号 H01L21/02;H01L33/00;(IPC1-7):H01L33/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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