发明名称 Intelligentes integriertes Lithographiesteuerungssystem auf der Grundlage des Produktaufbaus und Ausbeuterückkopplungssystem
摘要
申请公布号 DE10393394(T5) 申请公布日期 2005.08.11
申请号 DE20031093394T 申请日期 2003.09.12
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 PHAN, KHOI A.;SINGH, BHANWAR;RANGARAJAN, BHARATH;SUBRAMANIAN, RAMKUMAR
分类号 G03F7/20;H01L21/66;(IPC1-7):G03F7/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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