发明名称 Gas zum Wegnehmen von Ablagerungen und ihre Verwendung
摘要
申请公布号 DE69830776(D1) 申请公布日期 2005.08.11
申请号 DE1998630776 申请日期 1998.12.14
申请人 CENTRAL GLASS CO., LTD. 发明人 MORI, ISAMU;TAMURA, TETSUYA;OHASHI, MITSUYA
分类号 C09K13/00;C23F4/00;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):C09K13/00;H01L21/306 主分类号 C09K13/00
代理机构 代理人
主权项
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