发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE ATTAINING IMPROVED OVERLAY MARGIN AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20050079731(A) 申请公布日期 2005.08.11
申请号 KR20040007828 申请日期 2004.02.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, JOON SOO
分类号 H01L27/108;G11C7/00;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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