发明名称 等离子体辅助涂覆
摘要 本发明提供了用于激发、调节和维持等离子体(615)以实现各种涂覆处理的方法和装置。在一个实施例中,在等离子体催化剂(240)存在于底座(245)中的情况下,通过使气体受到由电极(270)和电源(275)提供的大量电磁辐射,在具有壁(232)的腔(230)内形成等离子体,并向该等离子体加入至少一种涂层材料,来涂覆(247)物体表面。该材料沉积在底座(260)上的物体(250)的表面以形成涂层(247)。本发明还提供了多种等离子体催化剂。
申请公布号 CN1653867A 申请公布日期 2005.08.10
申请号 CN03810269.2 申请日期 2003.05.07
申请人 达纳公司 发明人 D·库马尔;S·库马尔
分类号 H05H1/46;H05H1/00;C23C16/517;C23C16/455;C23C16/452;C23C14/02;C23C16/48 主分类号 H05H1/46
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 杨晓光;李峥
主权项 1.一种涂覆物体第一表面区域的方法,该方法包括以下步骤:在等离子体催化剂存在的情况下,通过使气体受到大量电磁辐射,在第一腔内形成等离子体;将至少一种涂层材料加入所述等离子体;以及允许所述至少一种材料沉积在所述物体的所述表面区域,以形成涂层。
地址 美国俄亥俄州