发明名称 |
等离子体辅助涂覆 |
摘要 |
本发明提供了用于激发、调节和维持等离子体(615)以实现各种涂覆处理的方法和装置。在一个实施例中,在等离子体催化剂(240)存在于底座(245)中的情况下,通过使气体受到由电极(270)和电源(275)提供的大量电磁辐射,在具有壁(232)的腔(230)内形成等离子体,并向该等离子体加入至少一种涂层材料,来涂覆(247)物体表面。该材料沉积在底座(260)上的物体(250)的表面以形成涂层(247)。本发明还提供了多种等离子体催化剂。 |
申请公布号 |
CN1653867A |
申请公布日期 |
2005.08.10 |
申请号 |
CN03810269.2 |
申请日期 |
2003.05.07 |
申请人 |
达纳公司 |
发明人 |
D·库马尔;S·库马尔 |
分类号 |
H05H1/46;H05H1/00;C23C16/517;C23C16/455;C23C16/452;C23C14/02;C23C16/48 |
主分类号 |
H05H1/46 |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 |
代理人 |
杨晓光;李峥 |
主权项 |
1.一种涂覆物体第一表面区域的方法,该方法包括以下步骤:在等离子体催化剂存在的情况下,通过使气体受到大量电磁辐射,在第一腔内形成等离子体;将至少一种涂层材料加入所述等离子体;以及允许所述至少一种材料沉积在所述物体的所述表面区域,以形成涂层。 |
地址 |
美国俄亥俄州 |