发明名称 一种用于存储器硬盘磁头背面研磨的研磨液
摘要 一种用于存储器硬盘磁头背面研磨的研磨液,属于表面超精研磨技术领域。本研磨液含有下列组分:十一碳到十三碳的烷烃的矿物油、油性剂、金刚石单晶超微粉、抗氧防腐剂、非离子型表面活性剂、削泡剂和抗静电剂,各组分的重量配比为:烷烃的矿物油:50~94.79%;油性剂:5~35%;金刚石超微粉:0.01%~5%;抗氧防腐剂:0.02~0.5%;非离子型表面活性剂:0.1~5%;消泡剂:0.03~1.5%;抗静电剂0.05~3.0%。使用本研磨液可降低成本、提高工作效率和提高表面研磨精度,研磨后表面无划痕、表面残余应力低、表面粗糙度为0.3~0.4纳米。
申请公布号 CN1651544A 申请公布日期 2005.08.10
申请号 CN200510011128.9 申请日期 2005.01.07
申请人 清华大学;深圳市力合材料有限公司 发明人 马江波;高峰;雒建斌;潘国顺;路新春
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项 1.一种用于存储器硬盘磁头背面研磨的研磨液,含有金刚石粉、抗氧防腐剂、非离子型表面活性剂、削泡剂和抗静电剂,其特征是尚含有烷烃的矿物油和油性剂;所述的烷烃矿物油为碳十一到碳十三的正构烷烃矿物油和异构的烷烃矿物油中的任一种;所述的油性剂为合成油中的季戊四醇酯、聚α-烯烃、天然精致植物油中的菜籽油、蓖麻油中的任一种;所述的金刚石粉为直径分布为0.1~0.2μm的金刚石单晶体;所述的抗氧防腐剂可以是二叔丁基对甲酚抗氧防胶剂T501,并配以微量的苯三唑衍生物抗氧防胶剂高温抗氧剂液体混合二烷基二苯胺中的任一种;所述的非离子型表面活性剂可以采用聚氧乙烯失水山梨醇单油酸酯、山梨醇酐单油酸酯、脂肪醇聚氧乙烯醚中的任一种;所述的削泡剂可以采用Lubrizol公司的889D非硅削泡剂、Ciba公司生产的IRGALUBE AF 1液态酯聚合物消泡剂中的任一种;所述的抗静电剂可以选用N,N-乙撑双酯酰胺、壬基酚聚氧乙烯醚中的任一种。所述的各组分的重量配比如下:烷烃的矿物油50~94.79%油性剂5~35%金刚石超微粉0.01%~5%抗氧防腐剂0.02~0.5%非离子型表面活性剂0.1~5%消泡剂0.03~1.5%抗静电剂0.05~3.0%
地址 100084北京市北京100084-82信箱