发明名称 CRYSTALLIZATION METHOD OF AMORPHOUS SEMICONDUCTOR THIN FILM, METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM TRANSISTOR USING THE SAME, AND THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050078392(A) 申请公布日期 2005.08.05
申请号 KR20040005815 申请日期 2004.01.29
申请人 JOO, SEUNG GI 发明人 JOO, SEUNG GI
分类号 H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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