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发明名称 METHOD FOR FORMING A BRITTLE ZONE IN A SUBSTRATE BY CO-IMPLANTATION
摘要
申请公布号 EP1559138(A1) 申请公布日期 2005.08.03
申请号 EP20030767871 申请日期 2003.10.31
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 ASPAR, BERNARD;LAGAHE, CHRISTELLE;SOUSBIE, NICOLAS;MICHAUD, JEAN-FRANCOIS
分类号 H01L21/265;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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