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发明名称 ETCHING PROCESSOR BY GAS CONTAINING HYDROGEN FLUORIDE
摘要
申请公布号 JPS54161276(A) 申请公布日期 1979.12.20
申请号 JP19780069911 申请日期 1978.06.12
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SUGAWARA TAKUJI;SHIBAGAKI MASAHIRO
分类号 H01L21/302;C23F4/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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