应用电容测量射频信号功率的射频功率传感器

摘要

应用电容测量射频信号功率的射频功率传感器包括：最好用半导体形成的基底，如，硅，或电介质材料构成，固定在基底上的固定部件构成用于传输射频信号的信号线及地线，以及跨越信号线连接在地线间的桥体，其中桥体受到外驱动力的作用，外驱动力在桥体与信号线之间感应电容。相应地，通过信号线与桥体之间的电容测量射频信号功率。射频功率传感器促进匹配，减少插入损耗，由于其基于传输线路所具有的特性阻抗，可以在非常宽频带中使用。根据对桥体所进行的设计还可对大功率进行测量。

主权项

1.一种射频功率传感器包括：电介质材料基底；固定在基底上的固定部件，其位于基底的上侧面并构成用于传输射频信号的信号线和地线；和连接到地线并跨越信号线路的桥体，其中，桥体受到外驱动力的作用，外驱动力在桥体与信号线之间感应电容。