| 发明名称 |
Methods for fabrication of localized membranes on single crystal substrate surfaces |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003297337(A8) |
申请公布日期 |
2005.08.03 |
| 申请号 |
AU20030297337 |
申请日期 |
2003.12.17 |
| 申请人 |
THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK |
发明人 |
TOMOYUKI IZUHARA;RICHARD M. JR. OSGOOD |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/311;H01L21/46 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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