离子束装置

摘要

一种离子束装置，具备：离子源2，其射出离子束4；质量分离电磁铁6，其为此离子束4所射入，由其分离并取出期望质量的离子束4；扫描器12，其为此离子束4所射入，在固定扫描面内以固定扫描中心P为中心，扫描并取出离子束；静电偏转器30，其为此离子束4所射入，以朝垂直于上述扫描面的方向前进的方式，在以上述扫描中心P为中心的圆弧形偏转区域进行静电式偏转90度，取出其中期望能量的离子束4a；以及扫描机构54，其保持标靶50，朝与自静电偏转器30取出的离子束4a呈固定角度交叉的方向，机械式往返扫描。