NF3的纯化方法

摘要

本发明公开了用于纯化来自NF3反应器的含有未反应的F2、HF和氮的氧化物的三氟化氮(NF3)物流的方法的一种改进，其中F2和HF被去除，然后通过吸附去除氮的氧化物。该方法的改进在于从所述NF3物流中选择性地去除F2而不生成二氟化氧，去除HF然后通过吸附去除所述氮的氧化物。并可根据需要进行进一步纯化。