承载物件之座体及该座体之制造方法

摘要

本发明系有关一种承载一待处理物件(12)(尤其是一半导体基板，例如晶圆)之座体(10)，其包含一容置物件的容置部及位在容置部下方沿物件方向分布的气体流出孔。为可由气体流出孔均匀流出一需要的气体，本发明使载体(10)至少部分由一包含稳定纤维(18、20)的材料构成，该材料之气孔构成气体流出孔。