移除探测污染微粒之方法及系统

摘要

一种移除探测污染微粒之系统及方法，其将具有探测污染微粒定位资料的储存装置与一雷射清洁装置结合，其中雷射清洁装置包括一潮湿器、一雷射装置及一抽气装置。当具有探测污染微粒之基板送入此系统时，系统会先读取储存装置内的定位资料，接着利用潮湿器润湿一气体并将此潮湿气体喷洒于探测污染微粒的表面。然后利用雷射装置加热潮湿气体，再利用抽气装置移除探测污染微粒。此外，此雷射清洁装置亦可与电性测试装置的探测单元结合，当电性测试装置测试完基板之电性后，即同步使用雷射清洁装置来移除基板上的探测污染微粒。