发明名称 PHOTOMASK STRUCTURE FOR PREVENTING STATIC ELECTRICITY
摘要
申请公布号 SG112876(A1) 申请公布日期 2005.07.28
申请号 SG20030001645 申请日期 2003.03.13
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 TIEN CHI, WU;KOU-CHOU CHEN;HUAI-JEN, HSU;GEORGE HUANG
分类号 G03F1/14;H01L23/60;(IPC1-7):G03F1/14 主分类号 G03F1/14
代理机构 代理人
主权项
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