发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SELECTIVE REMOVAL OF MATERIAL
摘要
申请公布号 SG112822(A1) 申请公布日期 2005.07.28
申请号 SG20020000661 申请日期 2002.02.04
申请人 ADVANCED SYSTEMS AUTOMATION LIMITED;ADVANPACK SOLUTIONS PTE LTD;GINTIC INSTITUTE OF MANUFACTURING TECHNOLOGY 发明人 CHEN QIONG;ROMEO EMMANUEL P. ALVAREZ;QUI HONG;WANG XINCAI;LIM GNIAN CHER;ZHENG HONGYU
分类号 B08B7/00;B23K26/14;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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