| 发明名称 |
RF PLASMA REACTOR WITH HYBRID CONDUCTOR AND MULTI-RADIUS DOME CEILING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG112820(A1) |
申请公布日期 |
2005.07.28 |
| 申请号 |
SG20010007988 |
申请日期 |
1997.12.30 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
GERALD YIN;DIANA XIABING MA;PETER LOEWENHARDT;PHILIP SALZMAN;ALLEN ZHAO;HIROJI HANAWA |
| 分类号 |
H05H1/46;B01J19/08;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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