微位移的平面光波导测量装置

摘要

一种微位移的平面光波导测量装置，属于精密仪器领域。本发明光波导微位移传感器固定在光学旋转平台上，光电探测部分包括：激光器、偏振器、光学小孔、光电探测器，激光器、偏振器，光学小孔固定在光学旋转平台外，它们保持等高共轴，光轴指向光波导微位移传感器的中心，光电探测器、激光器关于光波导微位移传感器的中心轴对称，同时光电探测部分的光电探测器固定在光学旋转平台上。本发明可以广泛应用于大坝、建筑物、地壳的微位移测量，可以实现高灵敏度、快速实时的测量，同时保证仪器具有制造工艺简单、易于实现、小型化等特点。

主权项

1、一种微位移的平面光波导测量装置，包括：光学旋转平台(1)、光波导微位移传感器(2)和光电探测部分(3)，光波导微位移和微振动传感器(2)固定在光学旋转平台(1)上，光学旋转平台(1)支撑整个光波导微位移传感器(2)，其特征在于，所述的光电探测部分(3)包括：激光器(4)、偏振器(5)、光学小孔(6)、光电探测器(7)，激光器(4)、偏振器(5)、光学小孔(6)固定在光学旋转平台(1)外，光轴指向光波导微位移传感器(2)的中心，光电探测器(7)、激光器(4)关于光波导微位移传感器(2)的中心轴对称，光电探测器(7)固定在光学旋转平台(1)上。