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发明名称 ATOMIC LAYER DEPOSITION METHOD AND ATOMIC LAYER DEPOSITION TOOL
摘要
申请公布号 EP1556886(A1) 申请公布日期 2005.07.27
申请号 EP20030808098 申请日期 2003.09.26
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 SANDHU, GURTEJ, S.;DOAN, TRUNG, TRI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/673;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/316 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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